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【普樂斯】蘇州等離子去膠機(jī) ASR-36LN01

品牌：普樂斯

名稱：蘇州等離子去膠機(jī)

型號：ASR-36LN01

功率：整機(jī)峰值功率13KW

用途：用于去除基片表面刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護(hù)膜的光刻膠掩膜,也可用于基片表面其它有機(jī)物的等離子體清洗。

訂購熱線：400-816-9009

咨詢熱線：400-816-9009

產(chǎn)品特點(diǎn)

v數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
v三色燈異常報(bào)警功能
v自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換
v可存儲(chǔ)多套工藝配方
v遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大

咨詢熱線：400-816-9009

產(chǎn)品參數(shù)

型號		ASR-36LN01
控制系統(tǒng)	控制方式	全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換）
		PLC（標(biāo)配）/PC（可選）
	操作系統(tǒng)	Windows 10
	觸摸屏	7寸
整機(jī)規(guī)格	尺寸	W950×D1050×H1700mm
腔體	尺寸	Φ360×D360mm
	材質(zhì)	鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選）
電極	尺寸	W250×D310×H140mm
	層數(shù)	2層
托架	材質(zhì)	鋁合金（標(biāo)配）/石英（可選）
	套數(shù)	1套
真空計(jì)	皮拉尼式真空計(jì)	1個(gè)
流量計(jì)	MFC質(zhì)量流量控制器	3個(gè)；Ar、N₂、O₂、CF₄（可選）
真空泵	干式泵	1套
發(fā)生器	射頻	13.56MHz，0~1000W
額定功率	整機(jī)峰值功率	13KW
機(jī)臺(tái)供電	三相五線式	AC-380V
選購品	防腐流量計(jì)、防腐真空計(jì)、防腐真空泵、防腐密封圈、石英舟、溫度傳感器、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件

注：以上參數(shù)僅供參考，本公司可能對相關(guān)產(chǎn)品參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，如有變動(dòng)，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。

咨詢熱線：400-816-9009

工作原理

在真空狀態(tài)下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，等離子清洗設(shè)備利用高頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體，然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去，從而達(dá)到表面清潔、活化等目的。如圖所示：