【普樂斯】真空等離子清洗設備 半導體等離子表面處理機 PM/R-80LN
品牌：普樂斯
名稱：真空等離子清洗設備 半導體等離子表面處理機
型號： PM/R-80LN
用途：適合于材料表面清潔、活化
訂購熱線：400-816-9009
咨詢熱線：400-816-9009
產品特點
v觸摸屏操作界面
v數字及圖標多重工藝參數實時顯示
v三色燈異常報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠程操控，數據砸導出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
v外觀設計專利201930499619.5
v軟件著作權 2019SR0011225
v數字及圖標多重工藝參數實時顯示
v三色燈異常報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠程操控，數據砸導出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
v外觀設計專利201930499619.5
v軟件著作權 2019SR0011225
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產品參數
| 型號 | PM-80LN | PR-80LN | |
| 控制系統 | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
| PLC（標配）/PC（可選） | |||
| 操作系統 | Windows 10 | ||
| 觸摸屏 | 7寸 | ||
| 整機規格 | 尺寸 | W850×D1100×H1700mm | |
| 腔體 | 尺寸 | W450×D400×H450mm | |
| 材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | ||
| 電極 | 尺寸 | W440×D317mm | |
| 層數 | 1-8層，可選 | ||
| 托架 | 材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | |
| 層數 | 1層 | ||
| 真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
| 流量計 | MFC質量流量控制器 | 2個；Ar、N2、O2（可選） | |
| 真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
| 發生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~500W |
| 額定功率 | 整機峰值功率 | 4KW | |
| 機臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
| 選購品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件 | ||
注：以上參數僅供參考，本公司可能對相關產品參數進行調整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。
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工作原理
在真空狀態下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，等離子清洗設備利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體，然后與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發性物質，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表面清潔、活化等目的。如圖所示：
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應用領域
適合于材料表面清潔、活化
解決材料粘結不牢固和粘結不良的問題
適用于制作車間的批量生產以及制造
解決材料粘結不牢固和粘結不良的問題
適用于制作車間的批量生產以及制造
快速反應，專業配合，精心打造服務生態鏈
1年質保，終身維護，提供配套服務
承諾到達現場的時限：昆山4小時，蘇州8小時，江浙滬24小時，其他區域48小時
咨詢熱線：400-816-9009
榮譽資質
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